超快、紫外激光微加工對(duì)加工精度的要求已經(jīng)達(dá)到了微米尺度，達(dá)到甚至小于普通 CCD 相機(jī)的像素尺寸。小尺度光斑的精密的量需要對(duì)光斑進(jìn)行放大，而在放大過程中需確保放大倍率的定量準(zhǔn)確性、放大光路的光學(xué)品質(zhì)等。先鋒科技研發(fā)的精密焦點(diǎn)測(cè)量?jī)x，集放大、衰減、光斑分析為一體，放大倍率經(jīng)過準(zhǔn)確定標(biāo)，提供便利使用的緊湊型、一體式微米尺度焦斑分析功能。焦斑分析儀充分考慮微加工激光的參數(shù)和微加工現(xiàn)場(chǎng)的光路結(jié)構(gòu)，整合激光輸入準(zhǔn)直基準(zhǔn)，激光衰減模塊，高倍率、高保真、高損傷閾值放大光路，以及高分辨率專業(yè)光斑分析儀。用戶只需將整體設(shè)備放置到場(chǎng)鏡 / 聚焦透鏡下，簡(jiǎn)單對(duì)準(zhǔn)即可對(duì)加工激光的焦點(diǎn)光斑進(jìn)行完整分析 , 而無需搭建繁瑣的光路。系統(tǒng)采用緊湊型整體式設(shè)計(jì)，方便移動(dòng)，可用于多個(gè)機(jī)臺(tái)靈活測(cè)試。根據(jù)不同的應(yīng)用場(chǎng)景，焦斑分析儀分為常規(guī) FSA 系列、組合式 FSA-M 系列、折疊光路 FSA-F 系列三個(gè)系列，10x、20x 兩種放大倍率和 UV、VIS、NIR 三種波段范圍產(chǎn)品。其中：

• FSA 系列：標(biāo)準(zhǔn)光路，一體式設(shè)計(jì)，兩級(jí)分束反射式衰減；

• FSA-M 系列：模塊式，兩級(jí)可拆卸分束模塊，可拆卸光斑分析儀；

• FSA-F 系列：折疊光路，長(zhǎng)度較短，適應(yīng)空間限制場(chǎng)合。

主要特點(diǎn)：

• 免調(diào)試固定光路，入口準(zhǔn)直基準(zhǔn)，即插即用；

• 10x - 20x 放大，適用不同尺度的焦斑；

• 專用高功率鏡頭，確保系統(tǒng)安全；

• 一維、二維彩色、三維直觀顯示焦斑形貌，優(yōu)劣一眼知；

• 放大倍率經(jīng)過校準(zhǔn)，軟件直讀焦斑尺寸；完整的光斑參數(shù)計(jì)算功能：直徑、中心、重心、橢圓度、高斯擬合等；

• 功率 / 能量密度計(jì)算；

• 焦點(diǎn)位置漂移與穩(wěn)定性測(cè)試。